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金刚线切割液

日期:2020-07-13 18:18
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摘要: 本发明涉及硅片金刚线切割液技术领域,特别是涉及一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液。 背景技术: 目前,硅片切割工艺主要采用多线切割技术,多线切割包括砂浆切割技术和金刚线切割技术。砂浆切割是通过钢丝线带动砂浆中的碳化硅微粉对硅进行切断的一种加工方法。金刚线切割是将碳化硅微粉直接电镀在钢线或者树脂线上,通过金刚线往复运动对硅切断的一种新技术,硅片厚度可以降至140-100μm。金刚线切割的主要技术优势包括硅耗降低、切割效率提升、单片成本降低以及更加环保。同时随着金刚线的技术发展,金刚线的细...

本发明涉及硅片金刚线切割液技术领域,特别是涉及一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液。


背景技术:

目前,硅片切割工艺主要采用多线切割技术,多线切割包括砂浆切割技术和金刚线切割技术。砂浆切割是通过钢丝线带动砂浆中的碳化硅微粉对硅进行切断的一种加工方法。金刚线切割是将碳化硅微粉直接电镀在钢线或者树脂线上,通过金刚线往复运动对硅切断的一种新技术,硅片厚度可以降至140-100μm。金刚线切割的主要技术优势包括硅耗降低、切割效率提升、单片成本降低以及更加环保。同时随着金刚线的技术发展,金刚线的细化也取得快速发展,直径从150μm到120μm、90μm、70μm、60μm逐步减小,有效的提高了硅片的产出率,降低硅材料的浪费,但同时也提高了对金刚线切割液性能要求。

目前现有的金刚线切割液主要有以下几类:聚乙二醇体系的切割液,主要以聚乙二醇为主,加入一定比例的防锈剂,乳化剂和消泡剂,这种冷却液冷却效果较好,对于硅粉等杂质有一定的悬浮和螯合作用,但是切割良率较低,硅片技术指标偏低,成本较高,对环境污染性高。丙二醇体系的切割液,主要以丙二醇为主体,通过添加其他醚类和分类添加剂配置而成的冷却液,这种切割液对硅片表面的性能有一定的改善,但是切割过程易出现断线卷线,成本高,冷却效果一般,对于硅粉等杂质的分散作用不是很理想,切割废液COD偏高。水基体系切割液,主要是以水为主,通过加入分散剂、螯合剂、表面活性剂、消泡剂、粘度调节剂混合而成,成本低且环境友好,但是无法分散硅粉等杂质。

以上这三类切割液,虽然在硅片切割加工中有一定效果,但随着金刚线的切割工艺的技术进步:金刚线往复运行速度的提高、金刚线细化,缺点也越来越明显,尤其是在加工多晶硅过程容易出现断线卷线,单片消耗金刚线高,硅片的一些技术指标(线痕、翘曲度、厚度不均、脏片等)不理想,另外以聚乙二醇、丙二醇为主体材料的切割液,后期废水处理成本高。因此,为解决上述问题,须提供一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液。

技术实现要素:

本发明的目的是提供一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液,以解决上述现有技术存在的问题,使切割液在高速往复运行的金刚线上铺展润湿快,能有效发挥保护、冷却、润滑的作用。

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